Оглавление:
Определение - Что означает нанолитография?
Нанолитография - это отрасль нанотехнологий и название процесса для впечатывания, написания или травления на микроскопическом уровне с целью создания невероятно маленьких структур. Этот процесс обычно используется для создания небольших и более быстрых электронных устройств, таких как микро / наночипы и процессоры. Нанолитография в основном используется в различных отраслях техники, от электронной до биомедицинской.Техопедия объясняет нанолитографию
Нанолитография - это широкий термин, используемый для описания различных процессов создания наноразмерных структур на различных средах, наиболее распространенным из которых является полупроводниковый материал кремний. Главной целью нанолитографии является сжатие электронных устройств, что позволяет втиснуть большее количество электронных компонентов в меньшие пространства, то есть в меньшие интегральные схемы, что приводит к меньшим устройствам, которые быстрее и дешевле в изготовлении, поскольку требуется меньше материалов. Это также увеличивает производительность и время отклика, потому что электроны должны путешествовать только на очень короткие расстояния.
Некоторые методы, используемые в нанолитографии, следующие:
- Рентгеновская литография - реализована с использованием метода бесконтактной печати и использует рентгеновское излучение ближнего поля при дифракции Френеля. Известно расширение оптического разрешения до 15 нм.
- Двойное нанесение рисунка - метод, используемый для увеличения разрешения шага литографического процесса путем печати дополнительных рисунков между пространствами уже напечатанных рисунков в том же слое.
- Электронно-лучевая литография с прямой записью (EBDW) - наиболее распространенный процесс, используемый в литографии, в которой для создания рисунков используется пучок электронов.
- Экстремальная ультрафиолетовая (EUV) литография - форма оптической литографии, в которой используются ультракороткие световые волны длиной 13, 5 нм.
