Оглавление:
- Определение - что означает микроэлектромеханическая система (МЭМС)?
- Techopedia объясняет микро-электромеханическую систему (MEMS)
Определение - что означает микроэлектромеханическая система (МЭМС)?
Микроэлектромеханическая система (MEMS) представляет собой крошечный механический модуль, приводимый в движение электричеством. NEMS объединяет компьютеры с механическими модулями, такими как датчики, исполнительные механизмы и зеркала. Это экономически эффективные системы, в которых используется модифицированная технология изготовления устройств.
МЭМС имеют множество применений и имеют широкий спектр производственных подходов, используя преимущества различных компонентов, миниатюризации и новых стандартных интегрированных электромеханических систем. MEMS можно использовать для влажного травления, такого как гидроксид калия (KOA), сухого травления, такого как глубокое реактивное ионное травление (DRIE), литья и нанесения покрытия, электроразрядного оборудования (EDM) и других технологий, которые производят небольшие устройства.
Микроэлектромеханическая система также может называться микроэлектронной системой, микромашиной, микросистемной технологией или интеллектуальным материалом.
Techopedia объясняет микро-электромеханическую систему (MEMS)
MEMS может быть меньше ширины человеческого волоса и может включать несколько компонентов, таких как:
- микродатчики
- Microactuators
- Микропроцессоры
- Центральные блоки для обработки данных
- Компоненты для взаимодействия с внешними элементами
МЭМС имеют большое отношение площади поверхности к объему и построены с использованием технологии изготовления кремния.
MEMS-устройство включает в себя микросхему, которая размещается на небольшом кремниевом чипе, используемом с механическими компонентами. Эта технология поддерживает большое количество устройств, которые управляют, воспринимают или активируют механические процессы, функционируя как массив или индивидуально.
В настоящее время МЭМС включают в свою архитектуру отдельный микросенсор или микроагулятор, но в будущем могут возникнуть более сложные уровни ассимиляции. Следующей разработкой может стать включение множества отдельных функций в одну систему.
